Интерферометр Физо

Интерферо́метр Физо́ — разновидность многолучевого интерферометра в котором интерференция происходит в промежутке между двумя отражающими поверхностями. Интерферометр Физо часто относят к интерферометрам с общим ходом пучков света, так как до эталонной (полупрозрачной) поверхности пучки распространяются совместно. Применяется, главным образом, для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем. Промышленно в СССР выпускались интерферометры Физо для контроля плоских поверхностей: ИИП-15, ИТ-40, ИТ-70 ИТ-100, ИТ-200; а для контроля выпуклых поверхностей КЮ-153, КЮ-210, КЮ-211, а также универсальный интерферометр ИКД-110 — позволяющий контролировать как плоские, так и выпуклые и вогнутые поверхности. В настоящее время в России выпускается интерферометр «ФТИ-100», оснащенный фазово-сдвиговой системой регистрации интерферограмм, а также интерферометр для контроля плоских поверхностей М200.