マスフローコントローラ

マスフローコントローラ（英: mass flow controller, MFC）とは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ（mass flow meter）といい、区別することがある。 体積流量計では、ボイル＝シャルルの法則（気体の場合）や化学変化などのために、温度や気圧によって体積流量が変化してしまうことがあるが、その際でも質量は変化しないことから、質量流量計のほうが好まれることがある。 体積流量計や差圧流量計など質量流量計以外の原理の流量計に、流量調整機能を付けて、体積流量換算などによって質量流量計として用いた場合は、マスフローコントローラとは呼ばないのが一般である。