Микрозонд

Микрозонд — прибор для проведения рентгеноспектрального микроанализа (определения атомного состава вещества в малом объёме). Принцип действия микрозонда следующий: генерируется пучок электронов, который собирается электромагнитными линзами в узкий пучок — электронный зонд. Попадая в образец, электроны выбивают электроны с оболочек атомов вещества и генерируют характеристическое рентгеновское излучение. Каждый элемент излучает на характерном для него наборе частот и может быть по нему идентифицирован. Концентрации элементов определяются по интенсивности излучения. В настоящее время микрозонд обычно является вариантом растрового электронного микроскопа, оптимизированного для рентгеноспектрального анализа. Поэтому большинство микрозондов может выполнять также функции электронного микроскопа.