グロー放電

グロー放電（グローほうでん）とは、冷陰極管において電流密度とガス圧が低いときの発光（グロー、glow）を伴う定常的な放電のこと。 陰極管の内部では、いくつかの暗部とグロー（明るい部分）がある。 * 陰極：正イオンの衝撃による二次電子放出が起きる。 * アストン暗部：条件によって出ないこともある。 * 陰極グロー：条件によって出ないこともある。 * 陰極暗部（クルックス暗部）：条件によって出ないこともある。 * 負グロー：二次電子がで加速される。電離により二次電子放出に必要な正イオンを供給する。 * ファラデー暗部：負グローで生成された低エネルギー電子は励起も電離もあまり起こさない（ダークプラズマ）。 * 陽光柱：管壁への電子損失などのため電子密度が下がってくると、放電電流を維持するため、軸方向電場によって加速・電離が起こる。 * 陽極グロー、陽極での流入電子を補給するため局所的に電子とイオンを生成する。陽極直前の電位差は、およそ気体分子の電離電圧程度。励起や電離を促進している。 * 陽極暗部：陽極グローと陽極との間の暗部。 グロー放電においては、ガス（気体）に電流が流れることによってプラズマが生じている。多くの場合、低圧ガスを含むガラス管内の2つの電極間に電圧をかけることによってグロー放電のプラズマは作られる。電圧がストライキング電圧（点弧電圧）と呼ばれる値を越えると、ガスのイオン化が自続し、管が色付きの光で光る（グローは光るという意味）。色は使用するガスによって異なる。 グロー放電はネオンライト、蛍光灯、プラズマスクリーンテレビなどのデバイスの光源として用いられる。生成された光を分光法で分析すると、ガス中の原子相互作用に関する情報が明らかになるため、グロー放電はプラズマ物理学と分析化学で用いられる。また、スパッタリングと呼ばれる表面処理技術にも使用されている。