Микротехнология
Microtechnology is technology whose features have dimensions of the order of one micrometre (one millionth of a metre, or 10−6 metre, or 1μm). It focuses on physical and chemical processes as well as the production or manipulation of structures with one-micrometre magnitude.
Article · Русский
Микротехноло́гия — процесс изготовления структур, характерный масштаб которых — микрон или менее. Исторически процессы микротехнологии использовались для производства интегральных схем (см. Технологический процесс в электронной промышленности). В последние два десятилетия область применения этой группы методов расширилась за счёт микроэлектромеханических систем (МЭМС), аналитических микросистем, производства жёстких дисков, ЖК дисплеев, солнечных панелей. Миниатюризация различных устройств требует привлечения различных областей науки и техники: физики, химии, материаловедения, информатики, вакуумной техники, гальваники. Основные процессы микротехнологии: * литография * легирование * осаждение тонких плёнок * травление * металлизация * полировка.
Abstract from DBpedia / Wikipedia · CC BY-SA