Planartechnik

Die Planartechnik (auch Planarprozess) ist ein in der Halbleiterfertigung eingesetzter Prozess zur Herstellung von Transistoren (Planartransistoren) und integrierten Schaltungen. Der Prozess wurde von Jean Hoerni bei Fairchild Semiconductor für die Herstellung von lateralen Bipolartransistoren entwickelt (1958) und patentiert. Mit der Planartechnik und deren Weiterentwicklung war es erstmals möglich, mehrere Transistoren, Dioden und Widerstände auf einem Substrat (Chip) zu platzieren und zu verbinden.