電子エネルギー損失分光

電子エネルギー損失分光（でんしエネルギーそんしつぶんこう、Electron energy-loss spectroscopy、EELS）とは、物質に電子線を照射し、非弾性散乱によるエネルギー損失を測定することで元素分析や状態分析をする手法。 照射する電子線を絞ることで局所分析ができる。高空間分解能のEELSではnmオーダーの電子線を用いている。高感度のEELSを用いれば１原子を分析することもできる。