ионное распыление
Sign in to saveразрушение поверхности твёрдых тел посредством ионной бомбардировки
Wikidata facts
Show 1 more fact
- Commons category
- Sputtering
Sources (2)
via Wikidata · CC0
Article · Русский
Ио́нное распыле́ние — эмиссия атомов с поверхности твёрдого тела при его бомбардировке тяжёлыми заряженными или нейтральными частицами. В случае, когда речь идёт о бомбардировке отрицательно заряженного электрода (катода) положительными ионами, используется также термин «катодное распыление».
Abstract from DBpedia / Wikipedia · CC BY-SA