Fotolack
A photoresist (also known simply as a resist) is a light-sensitive material used in several processes, such as photolithography and photoengraving, to form a patterned coating on a surface. This process is crucial in the electronics industry.
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Fotolacke (englisch photoresist) werden bei der fotolithografischen Strukturierung verwendet, insbesondere in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik für die Produktion von Strukturen im Mikro- und Submikrometerbereich sowie bei der Leiterplattenherstellung. Die wichtigsten Ausgangsstoffe für Fotolacke sind Polymere (z. B. Polymethylmethacrylat, Novolak, ) bzw. Epoxidharze (z. B. SU-8), Lösungsmittel wie Cyclopentanon oder Gamma-Butyrolacton, sowie eine fotoempfindliche Komponente. Neben flüssigen Fotolacken gibt es noch Fest- bzw. Trockenresists (Fotofolien).
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